Ионная химико-термическая обработка (азотирование, карбонитрирование, оксидирование, комбинированное упрочнение) – это эффективный способ упрочнения изделий, в результате которой происходит освобождение из структуры металла вредных примесей и диффузионное насыщение поверхностного слоя атомарным азотом, образование с легирующими элементами азотируемого материала нитридов и карбонитридов. Процесс осуществляется в азотсодержащей газовой среде при рабочем давлении в камере установки 0,5 – 10 мбар под воздействием аномально тлеющего импульсного электрического разряда. В результате формирования активной плазмы (ионизированного газа) на деталях образуются различные модификации диффузионных покрытий, обладающие высоким качеством и служебными свойствами.